電子顕微鏡から得られるデータにおいては多くの場合ノイズを無視することができません。弊社ではTEM/STEM像から周期的な情報を抽出するノイズフィルター、スペクトルの多変量統計分析によるノイズ除去、STEM像のスキャンノイズ補正、EELスペクトルやSTEM-HAADF像のデコンボリューションによる解像度向上のためプラグインを提供しています。
- DeConvEELS (EELS Deconvolution)
DeConvEELSは最大エントロピー法またはRichardson-Lucy法により、ローロスまたはゼロロススペクトルを装置関数としてデコンボリューションを実行することにより、電子線エネルギー損失スペクトル(EELS)のエネルギー分解能を向上させます。 - DeConvHAADF (STEM-HAADF Deconvolution)
DeConvHAADFは最大エントロピー法またはRichardson-Lucy法により、電子プローブを装置関数としてデコンボリューションを実行することにより、STEM-HAADF像の空間分解能を向上させます。 - HREM-Filters Pro/Lite
HREM-Filtersはノイズの多いデータから周期的な情報を抽出する高機能なWienerおよびDifferenceフィルターです。
HREM-Filters Liteは機能の限定されたフリーウェアバージョンです。 - MSA (Multivariate Statistical Analysis)
MSAは最も一般的な多変量統計分析法であるPCA(主成分分析法)に基づいて、SI(スペクトル像)データからランダムノイズを大幅に除去し、各スペクトルを明瞭にします。 - SmartAlign (Scan-distortion Compensator)
SmartAlignは高速で取得された複数のSTEM像にリジッドおよび非リジッドアライメントを適用することによりスキャン歪みを補正します。 HAADF像などより求まった歪み情報を使用して、同時取得されたSI(スペクトル像)データを含む他のデータの位置合わせが可能です。 - Jitterbug (Scan-noise Compensator)
JitterbugはSTEM像に普遍的なスキャンノイズを計測し、補正します。