スペクトロスコピーデータのポストプロセスを行うプラグインとしてEELSのエネルギー分解能向上を行うDeConvEELSや、多変量解析によるノイズ除去を行うMSA、マルチフレームのSTEM-SIデータのスキャン歪補正によるS/Nの向上を行うSmartAlignなどがあります。また、QEDではALCHEMIデータの自動取得化が可能です。

  • DeConvEELS (EELS Deconvolution)
    DeConvEELSは最大エントロピー法またはRichardson-Lucy法により、ローロスまたはゼロロススペクトルを装置関数としてデコンボリューションを実行することにより、電子エネルギー損失スペクトル(EELS)のエネルギー分解能を向上させます。

  • MSA (Multivariate Statistical Analysis)
    MSAは最も一般的な多変量統計分析法であるPCA(主成分分析法)に基づいて、SI(スペクトル像)データからランダムノイズを大幅に除去し、各スペクトルを明瞭にします。

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