HoloDarkは暗視野電子線ホログラムより、幾何位相解析手法(GPAを参照)を用いて、広い視野にわたって高精度な変形およびひずみマップを生成します。
HoloDarkはMartin Hytch氏によって開発された特許取得済みの技術とルーチンに基づいています。
高性能で安定した歪のないSTEMを取得可能な場合には、STEMモアレ像を使用して、HoloDarkと同様に広い視野にわたって高精度なひずみマップを取得できます(sMoiréを参照)
文献、技術資料(*基本文献)
- * M. Hytch, C. Gatel, F. Houdellier, E. Snoeck and K. Ishizuka, Darkfield electron holography for strain mapping at the nanoscale, Microscopy and Analysis 23, November 2012
- M.J. Hytch, F. Houdellier, F. Hue, and E. Snoeck, Dark-field electron holography for the measurement of geometric phase: Ultramicroscopy 111 (2011) 1328-1337.
- M.J. Hytch, F. Houdellier, F. Hue, and E. Snoeck, Nanoscale holographic interferometry for strain measurements in electronic devices: Nature 453 (2008) 1086-1089.
- F. Hue, M.J. Hytch, F. Houdellier, H. Bender, and A. Claverie, Strain mapping of tensiley strained silicon transistors with embedded Si1-yCy source and drain by dark-field holography: Appl. Phys. Lett. 95, 073103 (2009).
- M.J. Hytch, F. Houdellier, F. Hue, and E. Snoeck, International Patent Application No PCT/FR2008/001302
- F. Hue et al. Calibration of projector lens distortions: J. Electron Microscopy 54 (2005) 181-190.
処理例(サンプルデータ)
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- HoloDark Phase v1.6.1
for GMS 3.6 (64bit)*
for GMS 3.5 (64bit)*
for GMS 3.4 (64bit)*
for GMS 3.3 (64bit)*
for GMS 3.2 (64bit)* (applicable from GMS 3.0)
for GMS 2.3 32bit GMS 2.3 64bit
for GMS 2.1 32bit GMS 2.1 64bit (applicable from GMS 2.0)
必須プラグイン
ユーザーキードライバ
旧バージョン
- HoloDark Phase v1.5
for GMS 1.x (32bit)
for GMS 2.1 32bit GMS 2.1 64bit
for GMS 2.3 32bit GMS 2.3 64bit
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