sMoiréは幾何位相解析手法(GPAを参照)を使用してSTEMモアレ像を分析し、広い視野にわたって高精度な2次元ひずみマップを求めます。
電子ホログラフィの経験がある方は、暗視野ホログラムを使用して、同様の視野と精度で2次元ひずみマップを取得するHoloDarkもご覧ください。
文献、技術資料(*基本文献)
- * Akimitsu Ishizuka, Martin Hytch and Kazuo Ishizuka: STEM moiré analysis for 2D strain measurements, Microscopy 66 (2017) 217-221.
- D. Su and Y. Zhu: Scanning moiré fringe imaging by scanning transmission electron microscopy, Ultramicroscopy 110 (2010) 229-233.
- S. Kim, S. Lee, et al.: Scanning moiré fringe imaging for quantitative strain mapping in semiconductor devices, Applied Physics Letters 102, 161604 (2013).
処理例(サンプルデータ)
ダウンロード
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- sMoire v1.3.4
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for GMS 3.5 (64bit)*
for GMS 3.4 (64bit)*
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for GMS 2.3 64bit
for GMS 2.1 64bit (applicable from GMS 2.0)
必須プラグイン
- IPU plug-in (Free Software)
- HREM Mouse plug-in (Free Software)
- Acquire Image Series plug-in(Free Software)
ユーザーキードライバ
旧バージョン
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for GMS 3.5 (64bit)*
for GMS 3.4 (64bit)*
for GMS 3.3 (64bit)*
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for GMS 2.3 32bit GMS 2.3 64bit
for GMS 2.1 32bit GMS 2.1 64bit (applicable from GMS 2.0)
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