SmartAlignは高速で取得された複数のSTEM像をリジッドおよび非リジッドアライメントすることによりSTEM像のステージドリフトとスキャン歪みを補正します。そして、ビーム損傷の影響を低減しながら、解像度、信号対雑音比、および強度分布を改善します。得られたSTEM像を用いれば、組成やひずみなどの定量分析の精度を向上できます。
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文献、技術資料（*基本文献）
- * L. Jones, H. Yang, T.J. Pennycook, M.S.J. Marshall, S. Van Aert, N.D. Browning, et al.: Smart Align – a new tool for robust non-rigid registration of scanning microscope data, Advanced Structural & Chemical Imaging 1:8 (2015)(Open Access)
- * (TM module) L. Jones, A. Varambhia at. al.: Managing dose-, damage- and data-rates in multi-frame spectrum-imaging, Microscopy, 67, Issue suppl_1, (2018) i98–i113 (Open Access)
- (TM module) M Haruta, Y. Fujiyoshi et al.: Atomic-resolution two-dimensional mapping of holes in the cuprate superconductor La2−x Srx CuO4±δ, PHYSICAL REVIEW B 97, 205139 (2018)
- L. Jones, S. Wenner et al.: Optimising multi-frame ADF-STEM for high-precision atomic-resolution strain mapping, Ultramicroscopy 179 (2017) 57-62.
- C.M. O’Leary, Benedikt Haas, Christoph T. Koch, Peter D. Nellist and Lewys Jones: Increasing Spatial Fidelity and SNR of 4D-STEM Using Multi-Frame Data Fusion, Microscopy and Microanalysis (2021), 1–11 (Open Access).
- * (STM) L. Jones, S. Wang et al.: Maximising the resolving power of the scanning tunneling microscope, Adv. Struct. Chem. Imaging (2018) 4:7 (Open Access).
処理例（サンプルデータ）
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- SmartAlign v2.6.3
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- Template Matching Module for SmartAlign v2.6.2
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for GMS 3.4 (64bit)
for GMS 3.3 (64bit) (applicable from GMS 3.0)
for GMS 2.3 32bit GMS 2.3 64bit
for GMS 2.1 32bit GMS 2.1 64bit (applicable from GMS 2.0)
- 4D-STEM module v3.0beta
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- Template Matching Module for SmartAlign v2.5.2 (applicable up to v2.6.1)
for GMS 3.5 (64bit)
for GMS 3.4 (64bit)
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