SmartAlignは高速で取得された複数のSTEM像をリジッドおよび非リジッドアライメントすることによりSTEM像のステージドリフトとスキャン歪みを補正します。そして、ビーム損傷の影響を低減しながら、解像度、信号対雑音比、および強度分布を改善します。得られたSTEM像を用いれば、組成やひずみなどの定量分析の精度を向上できます。

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