SmartAlignは高速で取得された複数のSTEM像をリジッドおよび非リジッドアライメントすることによりSTEM像のステージドリフトとスキャン歪みを補正します。そして、ビーム損傷の影響を低減しながら、解像度、信号対雑音比、および強度分布を改善します。得られたSTEM像を用いれば、組成やひずみなどの定量分析の精度を向上できます。

Template Matching Module for SmartAlign(オプション)
テンプレートマッチングは与えられた繰り返し領域を検索し、それらを平均化して画質を向上させる一般的な手法です。 この「テンプレートマッチングモジュール」(TMモジュール)では検出された繰り返し領域の非リジッドアライメントが可能です。したがって、TMモジュールはSTEM像などの走査手法によって取得された結晶データの解析に最適です。

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