SmartAlignは高速で取得された複数のSTEM像をリジッドおよび非リジッドアライメントすることによりSTEM像のステージドリフトとスキャン歪みを補正します。そして、ビーム損傷の影響を低減しながら、解像度、信号対雑音比、および強度分布を改善します。得られたSTEM像を用いれば、組成やひずみなどの定量分析の精度を向上できます。

Template Matching Module(TM Moduleライセンスが必要です)
テンプレートマッチングは与えられた繰り返し領域を検索し、それらを平均化して画質を向上させる一般的な手法です。 Read More

4D-STEM Module(4D-STEMライセンスが必要です)
2次元のスキャン点ごとに2次元の回折を取得する4D-STEM法は高速カメラの開発により実用の域に入りました。 Read More

STM Application
SmartAlignはSTM (Scanning Tunneling Microscopy)などの走査プローブ顕微鏡(SPM)で取得されたデータのマルチフレーム平均化に適用できます。 Read More

カタログ

マニュアル

文献、技術資料(*基本文献)

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