DeConvHAADF

DeConvHAADFはSTEM-HAADF像 (高角環状暗視野像) をプローブ関数を用いてデコンボルーション(Deconvolution)します。 球面収差あるいは回折収差によるプローブ関数の拡がりを除去しますので、空間分解能が向上します。
DeConvHAADFではデコンボルーションの手法として最大エントロピー法（MEM: Maximum Entropy Method) あるいはRichardson-Lucy法を使用することができます。

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